第28期

從零到百分百建構半導體薄膜製程實驗室--逆向思考式的永不停下腳步
我用10年建構磁性材料與薄膜實驗室，他是屬於半導體製程中的薄膜工程，實驗室內所有的儀器市值總額加起來超過5500萬，而我從助理教授一路走到正教授，其間有4年沒有科技部計畫補助，10年來只拿到250萬的設備費，但我依然為化材系建構一間百分百的半導體薄膜製程實驗室。
    2011年2月甫進元智化材系教書，啟動經費60萬，從一個地下室養小動物的淹水廢墟開始，清理、整地、粉刷、拉水路和220伏特大電流電路，在放下實驗桌那一刻起，我的實驗室開始有了心跳，我的血液也沸騰了。首先必須要購買一台濺鍍機，卻只有30萬的設備費，啟動經費早已用磐於實驗室工程，我厚著臉皮找以前在台大唸書時的配合廠商尋求協助，結果被無情的洗臉，當下跟自己發誓，有一天一定要讓這個廠商捧這錢過來求我的技術。結果後來他們捧了100萬向我買「均勻度±2%的鍍膜技術」，我卻只用一句話點破他們的技術盲點，而這句話值100萬台幣，後來我成了當年度的技轉王。
    決定放棄遠處的設備商了，沒錢沒人情吧！尋求桃園在地廠商看看吧！看到了東銳公司，他們也正在起步階段，公司只有3個人，老闆兼業務、一個機械天才再加上一個電控怪物，就這樣湊成了史上最無敵強大的真空薄膜設備團隊，他們沒有嫌棄我的經費不足，反而願意投資我實驗室，半年後第一台完完整整的四靶濺鍍機吊掛進我實驗室，我將機器取名為Joanna，市值約400萬，那時是2011年8月。第二台濺鍍機是三靶共鍍機，鍍膜溫度可達800℃，扣除當年向科技部申請到的28萬設備費，不足部分也是東銳公司熱情無悔投資我的，我將她取名為Yvonne，市值300萬，那時是2013年。
    這兩台濺鍍機的產出後來幫助我拿到102學年度的元智大學研究傑出教授獎，當時我才進元智第三年，還是充滿服務熱忱的菜鳥助理教授。
    2013年另一件大事是我為化材系建置了一台解析度高達0.2 nm的掃描穿透式電子顯微鏡附掛微區成分分析儀(STEM+EDS)，新品需約2000萬台幣，還有一台離子薄化機PIPS，新品市值約300萬台幣。這要感謝系上的支持與彭宗平校長350萬的經費挹注，校外則要大力感謝閎康科技謝詠芬總經理的捐獻與奔走。因為這台儀器的成功建置使元智化材系的材料分析能力從SEM等級的100nm進入原子晶格尺度的0.2nm，傲視國內私立大學群雄。
    2015年8月科技部計畫未獲通過，沒經費了，學生養不起、材料也買不起、完了完了，心裡想著是不是該下課回家了。就在準備放棄之際，腦海中浮現先父的叮嚀：「我兒永不放棄。」
    於是打起精神重新思考在最沒經費的時候我該做什麼？我逆向思考、我決不留在原地守成、我決定大步走出去。於是輾轉中我去了一趟台南科學園區看一個即將關廠的LED廠商，向他們要一台Bruker D8 Discovery落地型XRD，運費我自己出。之後我去了一趟竹北Bruker AFM代理商，說服他們協助我在實驗室架設一台Bruker Innova AFM/MFM/EFM，這兩台設備新品市值總和約1300萬，卻硬是被我架設在我的實驗室。
    曇花一現式的連續拿了2年科技部計畫後，2018到2020這三年又沒獲得科技部任何計畫補助，又一次萬念俱灰快要吞食我的生命，但「我兒永不放棄。」所以，我決定再幹一票大的。2018年我與東銳公司合作在實驗室架設一套雙腔體超高真空濺鍍系統，搭配8支濺鍍槍與可加熱至500℃，市值約800萬台幣，我為她取名為Elsa。2018年底，我成功說服廠商將線上的電漿輔助化學氣相沈積系統PECVD捐獻給我，並在2019年初完成架設，市值約400萬台幣，我為她取名為Katz，後來我們以這一台成功鍍製垂直基板表面成長的Graphene。
    去年8月我正式升等成為正教授，回顧這10年一路走來，幾經萬念俱灰不如歸去的挫折與打擊，每每都想下課放棄了，但實驗室還有許多學生依賴著我，還有許多廠商與朋友的支持，我沒有說放棄的權利。本著先父的叮嚀，一次次挑戰自己的不可能，從無到有到完整，從零到百分百建構一個半導體薄膜製程實驗室，在最困難的時候，我沒有想著原地不動、不是想著就地守成，反而是大步跨出去的逆向思考，結果是甜美的，更給學生一個異想與體認。
    感謝這一路陪我走過的所有我的愛徒，感謝我的博士生黃銓發、陳禹伸與張政威。銓發陪我走過草創時期，替我建置Yvonne、STEM與PIPS。禹伸陪我升等副教授，為我架設Yvonne、XRD與AFM。政威則為實驗室架設Elsa、Katz並助我升上正教授。有太多的感謝無法完整說出，卻溢滿於心，未來或許還要在這裡再待20年，我將如同希臘神話裡的戰神阿基里斯，右手持利刃，左手握盾牌，永不放棄的為實驗室戰鬥，用生命保護大家的實驗室。