磁性材料與薄膜實驗室貴重儀器簡介 孫安正
磁性材料與薄膜實驗室貴重儀器簡介
圖2、白金奈米觸媒吸附於奈米碳管上。.jpg
圖3、Sputtered Micro-LED薄膜TEM照片。.jpg
圖4、磁性薄膜EDS選區成分分析。.jpg
圖5、HOPG之表面粗糙度。.jpg
本系磁性材料與薄膜實驗室之分析儀器具有高解析X光繞射儀(HRXRD)、原子力/磁力/電力顯微鏡(AFM/MFM/EFM)、高解析穿透式電子顯微鏡(HRTEM)，其中HRTEM可分析材料之微結構，或以電子繞射功能確認晶體結構，更能以其能量色散X-射線光譜(EDS)功能來得知所選區域之元素組成比例。已經完成的分析項目如下圖所示。
如圖1為本實驗室結合化工與生醫領域自行開發的材料，系以Fe3O4氧化鐵基為主的奈米粉末，研究其接上官能基後的物理化學特性，提高其在環境保護、生物醫學、人體組織內部的應用潛力。
圖2則為業界廠商委託本實驗室使用HRTEM拍攝白金奈米顆粒觸媒吸附在奈米碳管上的情形，本圖是由多張照片組合而成，反映出本實驗室HRTEM具備精準的選區拍攝能力。
圖3為國內合作大學實驗室委託拍攝的sputter 鍍製的Micro-LED薄膜，Micro LED核心技術在於如何使微米等級的薄膜磊晶良好，而本試片介面具有幾近完美的磊晶，代表著sputtered Micro-LED磊晶良率問題已經得到初步改善。
圖4則為磁性薄膜的HRTEM明視野搭配能量色散X-射線光譜(EDS)功能所得知結果，如圖中①-⑤不同位置的元素組成比例可被精確地定出。
圖5為本實驗使用原子力學顯微鏡(AFM)量測高定向熱解石墨(Highly Oriented Pyrolytic Graphite)之表面粗糙度，HPOG是一種新型高純度碳，是熱解石墨經高溫高壓處理后製得的一種新型石墨材料，其性能接近單晶石墨。HPOG最大的特色莫過於具有非常平滑的表面和電導性，若要量測其表面粗糙度，必須具備皮米(picometer)級的解析度。